氣動高真空擋板閥設(shè)計規(guī)范的工作原理是閥板通過閥桿做上下運(yùn)動而實現(xiàn)密封的。驅(qū)使閥桿運(yùn)動的傳動部件有手動、手電兩動、氣動三種方式。手動傳動部件，以螺紋結(jié)構(gòu)為主，也可以采用平凸輪結(jié)構(gòu)。圖1和圖2分別為直角式、直通式真空擋板閥結(jié)構(gòu)示意圖。手動兩用的傳動部件，由電動機(jī)、蝸輪、蝸桿組成，并裝有行程開關(guān)。計算出了選擇擋板閥氣缸缸筒直徑和活塞桿直徑的選擇及計算確定方法,為高真空擋板閥氣缸及活塞桿直徑的選取提供了參考。氣動超高真空擋板閥,通過使用者操作電磁閥控制空氣進(jìn)入氣缸,空氣進(jìn)入氣缸從而帶動氣缸運(yùn)動,氣缸運(yùn)動從而帶動通過彈性圓柱銷帶動閥板部件運(yùn)動,閥板部件運(yùn)動從而實現(xiàn)閥板部件對閥體部件內(nèi)氣體的通斷,通過閥體部件運(yùn)動來控制閥體部件內(nèi)氣體的通斷,從而增加了閥體部件的密閉性,增強(qiáng)了擋板閥工作的穩(wěn)定性,保證了擋板閥的使用壽命,降低了擋板閥的更換次數(shù).超高真空擋板閥用于接通或切斷超高真空系統(tǒng)管路中的氣流，有氣動、手動兩種驅(qū)動方式。氣動閥是通過電磁換向閥改變氣流方向來控制氣缸運(yùn)動，達(dá)到閥門啟閉；手動閥是以人工轉(zhuǎn)動手柄為動力通過螺紋傳動實現(xiàn)閥門開閉。適用于介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體的場合。高真空擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。高真空擋板閥按軸封結(jié)構(gòu)可分GD-J型橡膠軸封和GD-J(b)型波紋管軸封兩種。按通導(dǎo)形式可分GD-J為角通型式，GD-S為帶預(yù)抽口的三通型式。

主要零件材料閥體、閥蓋、閥桿：鋁合金、碳鋼或不銹鋼
密封件：橡膠、氟橡膠、波紋管(軸封)。

氣動高真空擋板閥設(shè)計規(guī)范適用范圍：
1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
1×10-5Pa～1.2×105Pa（氟膠圈密封）

 主要技術(shù)指標(biāo)： 

適用范圍：1×105 Pa ～ 1.3×10-7 Pa;

漏率：≤1.3×10-10  Pa.m3/s; 

工作介質(zhì)：空氣、水蒸氣、非腐蝕性氣體；

烘烤溫度：

— 打開：≤200℃；

— 關(guān)閉：≤150℃；

壓縮空氣：0.4 ～0.7MPa；

電源：AC220V 50Hz，6W 或者 DC24V，3W(可選)； 

安裝位置：任意。  

閥門位置指示：

手動：帶有行程控制銷釘；氣動：帶有啟閉位置指示磁性開關(guān)。

氣動高真空擋板閥設(shè)計規(guī)范

當(dāng)接通電源后，電動機(jī)按某一方向(如開啟方向)旋轉(zhuǎn)，通過蝸輪、蝸桿帶動閥桿向上運(yùn)動使閥板上升，當(dāng)閥上升到一定高度時，行程開關(guān)自動切斷電源，閥桿運(yùn)動立即停止，反之亦然。手動時，松開手輪背帽，用手按一定方向轉(zhuǎn)動手輪即可，圖3為GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖。

氣動傳動部件以壓縮干燥空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動汽缸活塞上下運(yùn)動，帶動閥桿上下運(yùn)動，使閥板開啟關(guān)閉，從而達(dá)到接通或停止氣流的目的。

真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍：軸封為橡膠時為1.3×10-4～105Pa；軸封為波紋管結(jié)構(gòu)時為1.3×10-5～105Pa。工作介質(zhì)溫度：-25～80℃（密封件為橡膠）；-30～150℃(密封件為氟橡膠)。閥體材料：碳鋼鍍鎳或不銹鋼；閥板密封材料橡膠或氟橡膠。

超高真空擋板閥用于超高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍為1.3×10-3～105Pa。閥門開啟狀態(tài)，烘烤溫度小于400℃；閥體材料為不銹鋼；閥板材料為無氧銅；軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣或?qū)﹂y門無腐蝕的干凈氣體。不適合用在對金屬有強(qiáng)腐蝕性和含有顆粒狀態(tài)灰塵的氣體情況下使用。

高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導(dǎo)大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點(diǎn)，形式多樣，規(guī)格齊全，公稱尺寸DN150～1200，結(jié)構(gòu)合理等，因此，被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)之中，如用于真空鍍膜設(shè)備，真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機(jī)、離子束刻蝕設(shè)備、空間環(huán)模設(shè)備等。